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荣耀电子材料:12寸open cassette、FOSB、FOUP三大晶圆载具
时间:2022-08-22

荣耀电子材料(重庆)有限公司成立于2018年,是一家专注于设计、生产和销售半导体包装材料的国家级高新技术企业,目前有两个制造基地,分别位于重庆市荣昌区和浙江省嘉兴市嘉善县。荣耀拥有自主的产品研发中心、模具制造车间、注塑成型车间、清洁清洗车间,产品涵盖1寸到12寸全尺寸全系列,包括晶圆盒、绷框盒、存储盒和周转盒等。我们同时为客户提供定制的包装方案及产品服务,致力于成为世界级的半导体洁净材料供应商。在大硅片领域,为了满足大硅片客户的高标准高需求,荣耀新发布了三款新型晶圆载具:12寸open cassette、FOSB和FOUP。

一、12open cassette

12寸open cassette拥有优异的耐热及耐药性和尺寸稳定性,常用于工厂制程中清洗硅片时使用,也作为晶圆制造厂制程间的传送载具。



                                    


二、FOSB

FOSB 前开式出货盒/全透明晶圆包装盒(Front Opening Shipping Box)承载晶片至下端的晶圆厂/芯片厂,单纯运输用可保护、运送并储存晶圆,防止晶圆碰撞、摩擦,在运输传载及储存时提供安全防护,气密度佳,能预防微粒物质的产生。


 


三、FOUP

前开式晶圆传送盒FOUP(Front Opening Unified Pod)。这是半导体制程中被用来保护、运送并储存晶圆的一种容器,其内部可以容纳25片的300mm晶圆,而其主要的组成元件为一个能容纳25片晶圆的前开式容器并有一个前开式的门框专司容器的开闭,是一种专属于12(300mm)晶圆厂内的自动化传送系统重要的传载容器。