国家基础科研条件与重大科学仪器设备研发专项:
多功能扫描探针显微镜(项目编号:2022YFF0706100) 2022.11-2026.10,科技部已立项。
与南方科技大学、中国科学院物理所、清华大学、中国科学院深圳先进院、中国科学院半导体所、广东省科学院半导体所联合。
国家重大科学仪器设备开发专项:
高分辨率多功能原子探针(项目编号:2018YFF01010300) 2018.10-2021.9该项目已顺利通过科技部验收。
国家重大科学仪器设备开发专项:
高频复合超声扫描探针显微镜研发与应用(项目编号:2013YQ160551) 2013.10-2017.9
与华中科技大学、武汉锐科光纤激光技术股份有限公司、中国科学院半导体所、天津医科大学、中国科学院物理所、国家纳米科学中心、湖北航天技术研究院总体设计所联合。
该项目顺利通过科技部验收,该项目成果获得2021年度湖北省科技进步二等奖。
具有包括发明专利的完整自主知识产权,突破国外技术封锁、解决纳米表征卡脖子问题。
具有完全自主知识产权的检测头超薄结构设计,可与各种高分辨光学显微镜联用,用户可根据研究需求或样品特性选择不同类型和功能的光学显微镜(如金相、微分干涉等)。
具有独创的全电机控制三螺杆测头支承系统,使得系统无论在仪器的稳定性还是操作的方便性均处于领先水平。